ELECTRONIC SPECIALTY GASES
電子特氣
支援半導體、光電、面板與太陽能製程，重視純度、穩定性與安全供應管理。
電子特氣涵蓋高純度氣體與特殊製程氣體，提供2N至6N等級選項，可配合氧化、成膜、蝕刻、清洗與去氧等關鍵製程使用。透過穩定供應與適當包裝規劃，協助高科技製程維持潔淨度、反應一致性與良率表現。
HIGH PURITY GASES
高純度氣體
| 化學式 | 純度(%) |
|---|---|
| O₂ | 99.8 |
| N₂ / Ar / H₂ |
99.999 – 99.9999 |
| He / Ne / Kr / Xe | 99.999 – 99.9999 |
| CO |
99 – 99.99 |
| CO₂ / N₂O / Cl₂ / C₂H₂ | 99 – 99.999 |
| CH₄ |
99.9 – 99.999 |
SPECIALTY PROCESS GASES
特殊氣體
| 氣體名稱 | 化學式 |
|---|---|
| 氧化 Oxidation | O₂、N₂O、PH₃、SiH₂Cl₂ |
| 成膜 Deposition | SiH₄、PH₃ |
| 蝕刻 Etching | CF₄、SF₆ |
| 清洗 Cleaning | NF₃、SF₆、CF₄ |
| 去氧 Dephosphorization | CF₄ |
GAS FAMILIES
產品系統
| 氣體名稱 | 化學式 |
|---|---|
| 大氣系 | O₂、N₂、Ar、H₂、CO₂、CO、Zero Air |
| 腐蝕系 | NH₃、HCl、H₂S、SO₂ |
| 氧氮系 | NO、NO₂、N₂O |
| 鈍氣系 | He、Ne、Kr、Xe |
| 有機系 | CH₄、C₂H₂、C₂H₄、C₂H₆等 |
